供应等离子射频线圈 真空管式炉pecvd模块

   
   KT-PECVD系统模块针对低功率、载行应用，HERO 系列射频电源小巧、轻便，拥有空冷式设计。射频电源与手动匹配器集成为一体机。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现较优化，从而使您的投资和制程生产力得到较大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——拥有多种频率段选择（2M，4M，13.56M，27.12M，40.68MHz）