供应 流量实时监控快速响应流量计 D07系列流量计

用途和特点
   质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质
量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和 控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、、环保和真 空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:  电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
   D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启 动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作),  其操作使用方便, 可任意位置安装,  并便于与计算机连接实现自动控制
产品参数
产品型号：D07-19B
产品类型：普通型
流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度：±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
重复精度：±0.2% FS
线性：±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
响应时间：≤2sec
工作温度范围：(5~45)°C
耐压：10MPa
密封材料：橡胶Viton,丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四乙烯 Teflon
输入输出信号:(0~5)VDC
电源:±15V
阀类型:- 无 -
温度±15V系数:- 无 -
零点飘移指标:- 无 -
电气连接:D sub 15 pins Male
工作压差范围:＜0.02 MPa
漏率：1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He）
标准接头形式：双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分：- 无 -
表面粗糙度：- 无 -
抗电磁干扰：CE
重量：0.7Kg
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联系人：李工