供应多种气体流量计混合配比器

     气体液体配比器主要用于气体液体混合配比,液体加热产生气体并用其他气体做载气,为等离子沉积cvd沉积或其他特定设备提供气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加，

      该气体配比器也可以选择多种液体和气体混合。详情请联系客服人员沟通

 用途和特点

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；
      质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和 控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真 空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:  电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

      D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启 动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作),  其操作使用方便, 可任意位置安装,  并便于与计算机连接实现自动控制


备注：气体液体量程范围根据客户现场需要选择 设备阀门管件均为不锈钢材质 可耐微腐蚀气体或液体 如强腐蚀性气体液体请与客服沟通解决方案

建议：为了尽量避免输出气体冷凝 请减少输出管道长度，或者在输出管道餐绕加热带

 

承接实验室材料制备方案设计  管式炉改装CVD  PECVD   搭建小型真空蒸镀仪  离子溅射仪  等离子清洗机  欢迎咨询

 

选择我们的优势及特性：

1.按照客户要求，加工订制；

2.一对一专业出图设计；

3.可配套*真空机组系统；

4.耐高温、耐腐蚀；

5.高质量、高精度；

加工工艺，完全采用真空焊接技术拼装焊接；

先进的真空捡漏设备，更加保证产品的优越性；

 

你的满意是我们的宗旨！公司提供出方案一对一沟通.方案满意为准！