供应**低温探针台 半导体制冷探针台 厂家直销

精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面可升温到400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。
    该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针良好处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
温控器
加热温度
35-350℃
温控误差
±1℃
热电偶类型
PT100高精度传感器
温控表
宇电温控器
程序控温
1段（可选30段程序控温表）
加热功率
≤300W
加热电源
AC220v
尺寸
230x230x125MM
重量
6kg
真空探针热台
腔体材质
304不锈钢
加工方式
一体式CNC精加工
内腔体尺寸
137X57X21mm  容积165ML
加热台尺寸
Φ30mm
观察窗内径
Φ46mm
观察窗材质
高透光石英玻璃
加热温度
400℃
注意：热台温度和样品温度存在偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。
信号输出头
SMA母头   配线 SMA转BNC  1.5米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 500V
抽气口
KF16
进气口
6MM卡套
使用正压
≤O.05MPa
使用负压
机械泵可获得真空≤10Pa  分子泵可获得真空≤10 -3 Pa
观察窗内径
φ45
移动探针
探针规格
探针粗Φ0.5mm    探针尖 10μm
上下移动距离
2mm
前后移动距离
20mm
左右旋转距离
120°