供应等离子射频线圈 真空管式炉**pecvd模块 厂家直销

    
    KT-PECVD系统模块针对低功率、载行应用，HERO 系列射频电源小巧、轻便，拥有空冷式设计。射频电源与手动匹配器集成为一体机。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现较优化，从而使您的投资和制程生产力得到较大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——拥有多种频率段选择（2M，4M，13.56M，27.12M，40.68MHz）
 
 
功率范围：0-300W可选

工作频率：13.56MHZ

工作电压：AC220V

传输效率：＞90％

功率稳定：2W≤

较大反射功率：＜2W

谐波分量≤dBc：-50

匹配时间：3-5s

电源匹配保护设置：DC过流保护 过温保护 反射功率保护 匹配时间保护

冷却方式：强制风冷

整机尺寸：480x400x380

整机重量：35kg