产品用途 气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合。混合后的气体通过真空测试腔体从而传感器根据不同比例的气氛环境传出不同的模拟量信号。控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加 该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏. 1.半导体制造行业中气体流量控制 2.各种真空镀膜设备 3.特种材料表面处理 4.气体燃烧控制 5.混和配气系统 6.泄漏探测系统 7.环境检测与分析设备 8.分析仪器的气体流量计量与控制 9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所 技术资料 产品型号:KT-C3Z 产品类型:高精度型/快速响应型/智能控制 触摸屏控制 可选量程:20sccm,30sccm,50sccm, 200sccm,500sccm,1slm ,5slm,10slm 产品精度:高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S 重复精度:高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S 线性:高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. 响应时间:高精度型≤2sec 普通型≤4sec 工作温度范围:(5~45)°C 供电电源:~85-265VAC 50/60Hz 较大功耗:40W 进气口压:≤0.6MPa 连接管道:φ4-6mm316不锈钢管道 截止阀类型:电磁阀 单向阀开启压力:0.02Mpa 压力显示量程:0-0.6Mpa 控制方式:7寸触摸屏智能调节 时间设定:0-99999 清洗功能:一键清洗 数据导出:无 程序控制:5段可编程序(时间-流量随意设定值) 压力显示:有(出气压力检测) 气体缓冲罐:有 流量累计:有(累计当前运行总流量) 可选有进出气口接头形式:3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头 抗电磁干扰:无 外形尺寸:460X210X480 重量:18KG